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Rilevamento ottico senza contatto di dettagli piú piccoli di 100nm nei semiconduttori

La tecnologia SMAL (Super Resolution Microsphere Amplifying Lens) puó essere utilizzata per controllo qualitá senza contatto e senza danneggiamento di semiconduttori, circuiti integrati e wafer di silicio.

Dato che SMAL utilizza luce bianca, essa rivela il mondo nanoscopico a pieni colori. Il microscopio ottico a super risoluzione Nanoro M puó essere utilizzato per ispezioni in-line, le quali sono impossibili con microscopi elettronici a scansione e microscopi a forza atomica. Ispezioni di alta qualitá = miglior controllo qualitá = riduzione di costi ed efficienza di fabbricazione.

L’immagine a destra mostra il confronto tra la tecnologia SMAL e un microscopio ottico ordinario.

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