La technologie SMAL (Super Resolution Microsphere Magnifying Lens) peut être utilisée pour l’inspection sans contact et le contrôle de qualité de la fabrication des puces en semi-conducteur et des wafers de silicium.

En utilisant la lumière blanche, le SMAL permet de révéler en couleur le monde nanoscopique. Le Nanoro M (super-resolution nano-scanning optical microscope) peut permettre de réaliser une inspection « à la chaine », ce qui ne peut être fait avec un microscope électronique à balayage ou un microscope à force atomique. Inspection haute qualité = meilleures contrôle de qualité = réduction des couts et augmentation de l’efficacité de production.