SMAL (超分辨率微球放大透镜)技术可以用于非接触，无损伤半导体芯片及硅圆制造质量检测。检测精度在普通白光下可达100纳米以下。SMAL成像技术可以揭示其它普通光学显微镜检测不到的纳米结构。 

采用白光照明，图像可以是全彩色。励格Nanoro M 型超分辨率纳米扫描光学显微镜可以用于在线检测，是扫描电镜及原子力显微镜做不到的。  高质量检测＝更好的质量控制＝节省成本及制造效率。