SMAL (超分辨率微球放大透镜)技术可以用于非接触,无损伤半导体芯片及硅圆制造质量检测。检测精度在普通白光下可达100纳米以下。SMAL成像技术可以揭示其它普通光学显微镜检测不到的纳米结构。 采用白光照明,图像可以是全彩色。励格Nanoro M 型超分辨率纳米扫描光学显微镜可以用于在线检测,是扫描电镜及原子力显微镜做不到的。 高质量检测=更好的质量控制=节省成本及制造效率。
右图展示SMAL技术与普通光学显微镜芯片纳米结构成像比较。