图 1：使用 Nanoro M 通过 10 倍物镜获取的 1 mm × 1 mm 的广域扫描。

图 2：使用 Nanoro M 通过 100 倍油浸镜头捕获的 100 µm × 100 µm 大面积扫描。

图 3：使用 SMAL 浸没模式获得的微芯片快照。

图 4：图 3 的放大视图，显示使用 Nanoro 软件测量的 65 纳米特征。

图 5：使用 Nanoro M 上的 SMAL 浸没对微芯片的 50 µm × 50 µm 区域进行目标扫描。

图 6：图 5 的放大视图，显示使用 Nanoro 软件测量的 80 纳米特征。