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DRY SMAL

当社の主力製品は、周囲空気環境で動作し、80 nm 未満の解像度に達する唯一の超解像度レンズです。

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半導体サンプルにおけるAIR SMALの性能

100倍標準対物レンズ、100倍油浸対物レンズ、SEMとの比較：

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