画像 1: Nanoro M を使用して 10 倍対物レンズで取得した 1 mm × 1 mm の広域スキャン。

画像 2: Nanoro M を使用して 100 倍の油浸レンズでキャプチャした 100 µm × 100 µm の大面積スキャン。

画像 3: SMAL 浸漬モードで取得されたマイクロチップのスナップショット。

画像 4: 画像 3 の拡大図。Nanoro ソフトウェアで測定された 65 nm の特徴を示しています。

画像 5: Nanoro M の SMAL 浸漬を使用したマイクロチップの 50 µm × 50 µm 領域のターゲットスキャン。

画像 6: 画像 5 の拡大図。Nanoro ソフトウェアで測定された 80 nm の特徴を示しています。